厂区规划平面图常用的软件有AutoCAD、ArcGIS Pro和SketchUp等。这些软件都具有强大的绘图和建模功能，适合用于制作厂区规划平面图。

AutoCAD

AutoCAD是一款专业的计算机辅助设计软件，广泛应用于建筑、机械、电子等领域。它具备强大的二维绘图和三维建模功能，可以精确地绘制厂区规划平面图中的各种元素，如建筑物、道路、绿化带等。AutoCAD还可以进行空间分析和数据计算，为厂区规划提供准确的数据支持。

ArcGIS Pro

ArcGIS Pro是一款地理信息系统软件，用于地图制作、数据分析、空间可视化等。它具备强大的地理数据处理能力，可以整合地理空间数据，生成高精度的厂区规划平面图。此外，ArcGIS Pro还可以进行空间分析和规划，帮助决策者做出科学的规划决策。

SketchUp

SketchUp是一款简洁易用的三维建模软件，也适用于厂区规划平面图的制作。它具备直观的操作界面和强大的建模工具，可以快速创建厂区的三维模型，并生成平面图。SketchUp还可以进行场景渲染和效果展示，帮助规划者更直观地展示规划方案。

以上软件都有各自的特点和优势，可以根据具体需求和规划者的喜好选择合适的软件来制作厂区规划平面图。同时，这些软件也都有相应的学习曲线，规划者需要掌握一定的操作技巧才能充分发挥其功能。